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 HMDS預(yù)處理真空烘箱  

產(chǎn)品用途:該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。    

一、產(chǎn)品規(guī)格：

 型號(hào)：BD/HMDS-6090   內(nèi)形尺寸：450×450×450    

 型號(hào)：BD/HMDS-6210   內(nèi)形尺寸：560×640×600  

二、 技術(shù)參數(shù)：

 1、控溫范圍：RT+10～250℃ 

 2、溫度分辨率：0.1℃

 3、溫度波動(dòng)度：±1℃

 4、達(dá)到真空度：小于133Pa

 5、真空度：100Pa～100000Pa

 6、定時(shí)范圍：1～9999min

 7、工作室材料：316L

 8、樣品架：2塊、3塊

 9、真空泵：4L/S

 10、電源電壓：220V/50Hz、380V/50Hz三相五線制

 11、總功率：3000W、4500W

三、產(chǎn)品特點(diǎn)：

 1、外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑。內(nèi)膽、樣品機(jī)、連接管路均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

 2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。

 3、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。

四、 HMDS預(yù)處理系統(tǒng)操作流程：

 1、首先確定烘箱工作溫度；

 2、預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后，開(kāi)始充入氮?dú)猓涞竭_(dá)到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開(kāi)始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分;

 3、再次開(kāi)始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng);

 4、當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)猓瓿烧麄€(gè)作業(yè)過(guò)程。

五、控制系統(tǒng)：

 1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏，三菱PLC控制器；

 2、富士微電腦雙數(shù)顯溫度PID控制器，控溫精que可靠；

六、保護(hù)系統(tǒng)：

 1、漏電保護(hù)；

 2、超溫保護(hù)；

 3、缺液保護(hù)；

七、設(shè)備使用條件：

 1、環(huán)境溫度：5℃～＋28℃（24小時(shí)內(nèi)平均溫度≤28℃）

 2、環(huán)境濕度：≤85%R.H

 3、操作環(huán)境需要室內(nèi)通風(fēng)良好,機(jī)器放置前后左右各80公分不可放置東西;

八、 HMDS預(yù)處理真空烘箱 服務(wù)承諾：

 保修十八個(gè)月，免費(fèi)送貨上門,在對(duì)該設(shè)備安裝調(diào)試結(jié)束后,在用戶現(xiàn)場(chǎng)對(duì)相關(guān)技術(shù)人員免費(fèi)做相應(yīng)的操作培訓(xùn),人數(shù)不限

北京中科博達(dá)儀器有限公司產(chǎn)品系列: 高溫試驗(yàn)箱、低溫試驗(yàn)箱、恒溫恒濕試驗(yàn)箱、低溫恒溫試驗(yàn)箱、高低溫試驗(yàn)箱、交變高低溫試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)箱、交變高低溫濕熱試驗(yàn)箱、鹽霧腐蝕試驗(yàn)箱、二氧化硫試驗(yàn)箱、鼓風(fēng)干燥箱、高溫烘箱、真空干燥箱、溫度沖擊試驗(yàn)箱、紫外光老化試驗(yàn)箱、氙弧燈耐氣候試驗(yàn)箱、臭氧老化試驗(yàn)箱、換氣老化試驗(yàn)箱、沙塵試驗(yàn)箱、淋雨試驗(yàn)箱、擺管淋雨試驗(yàn)設(shè)備、滴水試驗(yàn)設(shè)備、振動(dòng)臺(tái)、振動(dòng)試驗(yàn)機(jī)、二氧化碳培養(yǎng)箱、霉菌培養(yǎng)箱、熱空氣消毒箱、低溫培養(yǎng)箱、藥品穩(wěn)定試驗(yàn)箱、防銹油脂試驗(yàn)箱、大型鹽霧試驗(yàn)室、大型低溫恒溫試驗(yàn)室、大型高低溫檢測(cè)試驗(yàn)室。